大白对中海光电所技术人员的培训和训练,非常的见成效!
在短短几天的时间内,光刻机的零部件制造水平,就出现了飞跃式的增长,很多的核心零配件,以肉眼可见的速度,快速的被制造了出来!
虽然良率还有很大的提升空间,但是,如果不考虑成本问题的话,制造出来,已经从不可能,变成现实了!
然后,中海光电所的技术人员,就以更大的热情,投入到魔窟训练营的培训中来了!
同时,大白也被他们尊称为白老师!
在光电所里,进过魔窟训练营、上过白老师的课,已经成为一种值得夸耀的资本了!
每次从魔窟训练营下课,他们也顾不得休息,而是第一时间就回到光电所的科研攻关小组驻地,开始在设备上,实践今天的所学。
很多人都是在大白的悉心指导下,逐渐掌握了操作技巧,回去在设备上,自己再多实际操作几遍,就这样,逐渐也摸索出了自己的门道,形成了自己的操作心得和体会!
参加过魔窟训练营的技术人员,从第一天起,制作出来的零配件,精度就得到了大幅度的提升!
甚至还有一位技师,加工出来的一个精密轴承组件,已经达到了技术资料所要求的精度水平了!
这个消息,瞬间就轰动了整个先进光刻机项目组!
以前,他们一度绝望的认为,这些变态的精度要求,根本就不是现阶段龙国机加工水平,能够制造出来的!
现在,活生生的例子摆在了眼前,不由的人不信!
而且,大家都是各个企业里的技术骨干、顶尖的技师、业界的翘楚,谁也不比谁差!
他既然能做到,那自己就一定能做到!
夹杂着不服输的劲头,叠加着看到希望的干劲,再加上一天2400余人次的魔窟训练营密集训练,1纳米光刻机的所有零部件在第七天的时候,终于完整的凑出来一套!
张兴世总工程师,老泪纵横,激动地站在现场,透过玻璃窗一遍又一遍的欣赏着,那些整齐摆放在洁净室里的、一排排的精美零件!
技术人员和技师们,都在魔窟训练营里,开始学习和训练,如何组装1纳米光刻机了,他现在只能耐下性子,一遍又一遍的看着、想着、期盼着!
1纳米光刻机的组装,其难度不下于制造那些零部件!
很多的步骤和程序,甚至连一次试错的机会都没有,必须要求一次成功!
在孔白设计的1纳米光刻机中,存在着数以千计的传动装置!
因为安装过程中,零部件、特别是传动装置之间必然有摩擦,一旦接触过,那么精度很有可能会受到影响!
对于这么高精度的光学设备,纳米级的误差,都不可接受的!
这些精密到极致的传动装置,能对每个反射镜,也就是物镜组件的精确位置与方向,进行细微到远小于一纳米的微小调整,以确保每次都能在晶圆上,获得完美的照射图案。
而且,1纳米光刻机使用过程中,存在着高重复性、高能量的光脉冲反复冲击,会使光学系统整体升温,从而因热胀冷缩,导致镜头变形。
虽然这些变化,可能仅仅是毫开尔文和纳米量级的,但仍然足以制造出有缺陷的芯片。
光学组件中的传动装置,可以主动调整和补偿,这些因热效应造成的极小误差!
因此,1纳米光刻机传动系统的整体高质量安装,也成为了一项巨大的工程挑战!
现在,虽然零部件都是已经生产齐备了,但是作为整体光刻机制造工艺,这才完成了不到一半。
剩下的一大半,就是安装和调试的过程!
为什么先进光刻机这么暴利的产
第111章 令人发狂的48小时[1/2页]